对超高纯度电子级氯化氢净化的问题解析

    淄博言赫特气有限公司现有年产2000吨高纯氯化氢生产线，连续批量生产应用于单晶硅外延片制造的5N(99.999%)电子级(VLSI)氯化氢。

    电子级氯化氢广泛应用于半导体、微电子和关联的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜堆积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、维护气氛等等。因为半导体和微电子技能向更高功能、更高集成度开展，对电子级氯化氢的纯度提出了越来越高的需求，电子级特气的净化更加要害和重要。目前国内的超高纯度净化技能首要依靠进口，本身的技能水准（6N）与国际先进水平(8-9N)有较大距离。本项目将描绘和研制一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新式纳米净化剂，对MO源、惰性气体、氢化物气体、反响性气体、腐蚀性气体等5个系列，50多种电子特气进行结尾净化，使电子级氯化氢纯度由ppm级进步到ppb、ppt级，并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小，然后极大地改进工艺才能，下降产物缺点， 进步制程的产值，满意下一代半导体、微电子以及关联高技能开展的需求。本项目将构成有自主知识产权的超高纯度电子级氯化氢净化技能，处理超高纯度电子级氯化氢净化这一核心技能的国产化问题。

    我公司所主营的钢瓶装电子级氯化氢产品分别经国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验，纯度大于99.999%，总杂质含量小于5ppm，符合国家标准GB/T24469-2009。