中国氯化氢技术的领导者

      北京华宇同方化工科技开发有限公司是1999年注册于北京中关村高科技园区的高新科技企业，其目的是推广应用本公司发明的十余项国内外授权专利。目前推广的主要新产品有，高

纯氯化氢和沸石催化剂；主要新技术有催化精馏技术和芳烃烷基化工艺。本公司生产的沸石催化剂是种录色环保产品，达到国际先进水平，已成功的应用于国内大型石化企业，具有显著的

经济效益和社会效益。本公司生产的高纯氯化氢的性能指标与国外同类产品相当，填补了我国电子级氯化氢产品生产的空白，目前已广泛应用于集成电路芯片制造业、硬质合金制造业、医

药化工制造业，并批量远销于韩国及东南亚一带。本公司的特点是产品质量高，价格低，售后服务好。

      本公司具有较强的技术开发力量，现有教授4人，高级工程师5人，其他工程技术人员10人。建有设备完善的中心实验室，高纯氯化氢生产基地，沸石催化剂生产基地。分别负责技术

开发、氯化氢和催化剂的生产。根据市场需求，氯化氢设备的现有生产能力为100吨/年。

      5N电子级氯化氢产品的纯度高达99.999%，总杂质含量小于5ppm,符合企业标准Q/HDHYF001-2003。它是单晶硅片气相抛光、基座腐蚀和硬质合金镀膜工艺的重要辅助材料。尤其其中水

及有机物的含量对单晶硅片的精密加工和芯片的寿命具有极大影响。本公司生产的5N电子级氯化氢产品的露点小于-80℃，水含量小于0.5ppm。有机物为轻烃类，THC＜0.5ppm，且不含一氧

化碳、二氧化碳等有害杂质。就此而言，本公司的产品远优于国外同类产品的性能，尤其优于国内分装产品。

      本公司生产电子级氯化氢所采用的原料为石化产品的副产品，其特点是水含量很低，便于提纯加工，对所需设备的材质要求不高。但其中含有难以脱除的乙炔气，这就需要特种性能

的催化剂。本公司在催化剂及催化技术开发方面具有独特的技术。经5年的努力，开发出适用的催化剂，它可使氯化氢中1000ppm的乙炔经反应下降至0.1ppm以下。从而保证了氯化氢中的THC

＜0.4ppm。另外，本公司氯化氢的生产工艺采用了高效填料及特殊结构的精馏塔，并采用了具有特色的钢瓶处理方法，保证了瓶装产品的水含量小于0.5ppm。使得本公司产品的质量大大优

于国外同类产品的质量。同时，本公司获得了"一种制备电子级氯化氢的方法"的授权专利，具有自主知识产权。瓶装产品经国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检测中心

抽样检验，纯度大于99.999%，杂质总含量小于5ppm。2003年10月通过北京市科委科技成果技术鉴定。会议认为，本工艺采用特效催化反应、高效精馏和特种装置设备等技术研制出电子级氯

化氢产品。技术路线科学、合理、先进，工艺参数稳定；原料来源充足，供应可靠，生产线装置运行连续稳定，符合环保要求；产品主要技术指标具有可靠的检测手段；产品主要性能指标

与国外同类产品相当，填补了我国电子级氯化氢产品生产的空白，实现了电子级氯化氢产品的国产化。这对我国新兴电子产业制造业及其相关行业的发展具有较大的社会意义和经济意义。

两年多来，经国内外多家用户在单晶硅片气相抛光、基座腐蚀和硬质合金镀膜工艺中使用证明，本公司产品的技术性能及其产品的规格性能均与国外产品相当。

      近几年，本公司在降低水含量方面采取了一系列措施。经分析发现，精馏塔采出产品的水含量小于0.3ppm，但罐装于钢瓶内的产品水含量则可达0.7ppm，甚至更高。究其原因在于产

品罐装过程中钢瓶更换以及钢瓶处理时引入的空气水。这种水附着在管壁上，难以用抽空的方法彻底排除。为此，首先采用了本公司发明的专利截止阀，保证更换钢瓶时汇流排及其连接软

管不与大气相通；其次在钢瓶选用、瓶阀结构及钢瓶处理上采取了严格而特殊的措施，尽可能降低钢瓶残留水的影响，保证了瓶装产品的水含量小于0.5ppm。

      目前，国内应用的5N电子级氯化氢产品主要由美国道化学公司提供，经由国内外几家气体经销商分装后供应市场，主要性能指标如下：

纯度：99.999%；

杂质含量：N2≤2.0ppm，O2≤1.0ppm，H2O≤1.0ppm，CO≤1.0ppm，

CO2≤2.0ppm，THC≤1.0ppm。

目前，本公司批量供应市场的氯化氢产品有如下四种：

（1） 5.0 N，纯度>99.999%；  （2） 4.8 N，纯度>99.998%；

（3） 3.0 N，纯度>99.9%；    （4） 2.8N，纯度>99.8%。

      本公司氯化氢产品采用氯化氢专用钢瓶（符合国标GB5099或DOT 3AA标准）包装，有25kg、27kg两种规格，应用316L不锈钢抗腐蚀隔膜式瓶阀，CGA330标准接口。

      本公司尚可为客户提供各种型号规格的氯化氢专用减压器、调节阀、截止阀以及成套氯化氢供气装置。

      2001年全公司各产品通过ISO9001:2000质量管理体系认证，保证了产品质量的连续稳定和持续改进。

      本公司秉承"诚信为本、顾客至上"的经营理念，坚持"科学经营、安全经营、合法经营"的经营方针，以科技领先和强化管理为手段，锻造技术一流、人才一流、质量一流、服务一流

的科技开发公司。