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现在电子工业用气(氨气、氯化氢、四氟化碳)已经告别进口

返回  打印  发布时间:2015-7-28 点击:6297

  高纯氨气(NH3)是电子工业中氮化膜的成膜气体。高纯氨气跟硅烷、高纯氩气(Ar)用于薄膜太阳能电池的制造,也用于LED电子行业。氨气具有强腐蚀性和毒性,而且具有刺激性臭味,易溶于水。

  在目前,国产高纯氨气已经占到国内市场需求的一大半,相信以后会完全取代国外气体公司满足中国在IC、LED、太阳能电池等领域的需求。

  高纯四氟化碳(CF4) ,目前四氟化碳主要应用于微电子工业中的等离子蚀刻,广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨膜材料的锈蚀。同时也应用于电子元件的清洗。四氟化碳又叫做四氟甲烷,是一种卤代烃。无色、无臭、不可燃,挥发性较高。是最稳定的有机化合物之一。

目前可以生产纯度达99.999%的高纯四氟化碳,产量基本可以满足珠江三角洲地区电子工业的需求。

  高纯氯化氢(HCL),主要应用于大规模集成电路单晶硅片气相抛光,外延机座腐蚀等。氯化氢是一种无色有刺激性气味的气体。易溶于水(遇水是有强腐蚀性)。遇氰化物产生剧毒性气体氰化氢。目前高纯氯化氢已经可以满足国内市场的需求。

  随着国内气体企业对电子气体的重视,国内气体公司在技术方面也渐渐的追上了国外气体公司。涌现出了一批具有创新性和活力的气体公司。我们淄博言赫特气经营氯化氢气体已经多年,获得了很多客户的好评,也希望我们可以成为很好的合作伙伴!

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