超高纯度电子特气净化--氯化氢

返回打印发布时间：2012-12-22 点击：7633

电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。目前国内的超高纯度净化技术主要依赖进口，自身的技术水准（6N）与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂，对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列，50多种电子特气进行末端净化，使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级，并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小，从而极大地改善工艺能力，降低产品缺陷，提高制程的产量，满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术，解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。氯化氢

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