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对品质严格要求的氯化氢气体
一般来说,电子级氯化氢是指纯度高于99.999%的高纯度氯化氢气体。除了对纯度要求较高以外,对氯化氢气体的品质要求也非常严格。
随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展,对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999%以上的纯度,还要求氯化氢的THC、H2O和金属离子等有机杂质的含量越低越好。
电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀,清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理,激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢,但近年来,我国电子工业所需的化学气体的研制,在技术上已有不少突破和发展。
我公司作为地区专业的高纯氯化氢气体产品研发供应机构,公司代理的各种不同类型的氯化氢气体、高纯氯气产品不仅质量上乘,而且产品纯度高,各种不同纯度类型的产品都有,在实际的工业生产领域中有着广泛的应用,深受广大需求厂家的好评,值得信赖,欢迎前来选购。
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电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀,清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理,激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢,但近年来,我国电子工业所需的化学气体的研制,在技术上已有不少突破和发展。
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